Keskkonnakaitsele pööratakse üha enam tähelepanu, eriti uduvihmade suurenedes.Puhasruumide projekteerimine on üks keskkonnakaitsemeetmeid.Kuidas kasutada puhaste ruumide tehnikat, et teha head tööd keskkonnakaitses?Räägime puhastusruumide inseneri juhtimisest.
Temperatuuri ja niiskuse kontroll puhtas ruumis
Puhaste ruumide temperatuur ja niiskus määratakse peamiselt protsessi nõuetest lähtuvalt, kuid protsessinõuete täitmisel tuleks arvestada inimese mugavust.Õhu puhtusnõuete paranemisega on suundumus karmistada protsessis temperatuuri ja niiskuse nõudeid.
Üldjuhul muutuvad seoses töötlemise täpsuse suurenemisega nõuded temperatuurikõikumiste vahemikule aina väiksemaks.Näiteks suuremahulise integraallülituse tootmise litograafia- ja eksponeerimisprotsessis muutub maskimaterjalina kasutatavate klaas- ja räniplaatide soojuspaisumisteguri erinevus järjest väiksemaks.
100 μm läbimõõduga räniplaat põhjustab temperatuuri tõustes 1 kraadi võrra 0,24 μm lineaarset paisumist.Seetõttu on vajalik konstantne temperatuur ± 0,1 ℃ ja niiskuse väärtus on üldiselt madal, sest pärast higistamist on toode saastunud, eriti naatriumikartvates pooljuhtide töökodades.Seda tüüpi töökoja temperatuur ei tohiks ületada 25 ℃.
Liigne niiskus tekitab rohkem probleeme.Kui suhteline õhuniiskus ületab 55%, tekib jahutusveetoru seinale kondensaat.Kui see esineb täppisseadmetes või vooluahelates, võib see põhjustada mitmesuguseid õnnetusi.Kui suhteline õhuniiskus on 50%, on see kergesti roostetav.Lisaks adsorbeerub liiga kõrge õhuniiskuse korral ränivahvli pinnale kleepuv tolm õhus olevate veemolekulide kaudu keemiliselt pinnale, mida on raske eemaldada.
Mida kõrgem on suhteline õhuniiskus, seda raskem on nakke eemaldada.Kui suhteline õhuniiskus on aga alla 30%, adsorbeeruvad pinnale kergesti ka osakesed elektrostaatilise jõu toimel ning suur osa pooljuhtseadiseid on altid lagunemisele.Optimaalne temperatuurivahemik ränivahvlite tootmiseks on 35-45%.
Õhurõhkkontrollpuhtas ruumis
Enamiku puhaste ruumide puhul on välissaaste sissetungi vältimiseks vaja hoida siserõhku (staatiline rõhk) kõrgem kui välisrõhk (staatiline rõhk).Rõhu erinevuse säilitamine peaks üldiselt vastama järgmistele põhimõtetele:
1. Rõhk puhastes ruumides peaks olema kõrgem kui mittepuhastes ruumides.
2. Kõrge puhtuse tasemega ruumide rõhk peaks olema kõrgem kui madala puhtuse tasemega külgnevates ruumides.
3. Puhaste ruumide vahelised uksed tuleks avada kõrge puhtusega ruumide poole.
Rõhuvahe püsimine sõltub värske õhu kogusest, mis peaks suutma kompenseerida õhulekke vahest selle rõhuerinevuse all.Seega on rõhuerinevuse füüsikaline tähendus lekke (või infiltratsiooni) õhuvoolu takistus puhtas ruumis erinevate tühimike kaudu.
Postitusaeg: 21. juuli 2023