Keskkonnakaitsele pööratakse üha rohkem tähelepanu, eriti seoses uduvihmade sagenemisega. Puhasruumide projekteerimine on üks keskkonnakaitse meetmetest. Kuidas kasutada puhasruumide projekteerimist keskkonnakaitses hästi? Räägime puhasruumide projekteerimise juhtimisest.
Temperatuuri ja niiskuse reguleerimine puhtas ruumis
Puhaste ruumide temperatuur ja niiskus määratakse peamiselt protsessinõuete põhjal, kuid protsessinõuete täitmisel tuleks arvestada inimeste mugavusega. Õhupuhtuse nõuete paranemisega on trendiks rangemad temperatuuri ja niiskuse nõuded protsessides.
Üldpõhimõttena muutuvad töötlemise täpsuse suurenemise tõttu temperatuuri kõikumise vahemiku nõuded üha väiksemaks. Näiteks suuremahulise integraallülituste tootmise litograafia- ja säritusprotsessis muutub maskimaterjalina kasutatavate klaasi ja räniplaatide soojuspaisumisteguri erinevus üha väiksemaks.
100 μm läbimõõduga ränivahvel põhjustab temperatuuri tõustes 1 kraadi võrra lineaarset paisumist 0,24 μm. Seetõttu on vajalik püsiv temperatuur ± 0,1 ℃ ja õhuniiskuse väärtus on üldiselt madal, sest pärast higistamist toode saastub, eriti pooljuhtide töökodades, kus naatriumi on karta. Sellise töökoja temperatuur ei tohiks ületada 25 ℃.
Liigne õhuniiskus põhjustab rohkem probleeme. Kui suhteline õhuniiskus ületab 55%, tekib jahutusveetoru seinale kondensaat. Täppisseadmetes või vooluringides võib see põhjustada mitmesuguseid õnnetusi. Kui suhteline õhuniiskus on 50%, on see kergesti roostetav. Lisaks, kui õhuniiskus on liiga kõrge, adsorbeerub räniplaadi pinnale kleepuv tolm keemiliselt õhus olevate veemolekulide kaudu pinnale, mida on raske eemaldada.
Mida kõrgem on suhteline õhuniiskus, seda raskem on adhesiooni eemaldada. Kui suhteline õhuniiskus on aga alla 30%, adsorbeeruvad osakesed elektrostaatilise jõu toimel kergesti pinnale ja suur hulk pooljuhtseadiseid on altid rikki minema. Räniplaatide tootmise optimaalne temperatuurivahemik on 35–45%.
Õhurõhkkontrollpuhtas ruumis
Enamiku puhaste ruumide puhul on välise saaste sissetungi vältimiseks vaja hoida siserõhku (staatilist rõhku) kõrgemal kui välisrõhku (staatilist rõhku). Rõhu erinevuse säilitamine peaks üldiselt vastama järgmistele põhimõtetele:
1. Puhaste ruumide rõhk peaks olema kõrgem kui mittepuhaste ruumide rõhk.
2. Kõrge puhtusastmega ruumides peaks rõhk olema kõrgem kui külgnevates madala puhtusastmega ruumides.
3. Puhaste ruumide vahelised uksed peaksid olema avatud kõrge puhtusastmega ruumide poole.
Rõhu erinevuse püsimine sõltub värske õhu hulgast, mis peaks suutma kompenseerida õhulekke selle rõhu erinevuse all olevast pilust. Seega on rõhu erinevuse füüsikaline tähendus lekke- (või infiltratsiooni-) õhuvoolu takistus puhasruumi erinevatesse piludesse.
Postituse aeg: 21. juuli 2023