Keskkonnakaitset pööratakse üha enam tähelepanu, eriti hämmingus suurenemise korral. Puhas tubadehnika on üks keskkonnakaitsemeetmeid. Kuidas kasutada puhast tubadehnikat keskkonnakaitse hea töö tegemiseks? Räägime puhtast toa inseneritööst.
Temperatuuri ja niiskuse juhtimine puhtas ruumis
Puhtate ruumide temperatuur ja niiskus määratakse peamiselt protsessinõuete põhjal, kuid protsessinõuete täitmisel tuleks arvesse võtta inimese mugavust. Õhu puhtuse nõuete parandamise korral on temperatuuri ja õhuniiskuse rangemad nõuded protsessis.
Üldpõhimõttena muutuvad töötlemise täpsuse suurenemise tõttu temperatuuri kõikumisvahemiku nõuded väiksemaks ja väiksemaks. Näiteks suuremahulise integreeritud vooluringi tootmise litograafias ja kokkupuuteprotsessis muutub maskimaterjalidena kasutatavate klaasi ja räni vahvlite soojuspaisumisteguri erinevus üha väikeseks.
Räni vahvli läbimõõduga 100 μm põhjustab lineaarse paisumise 0,24 μm, kui temperatuur tõuseb 1 kraadi. Seetõttu on vajalik konstantne temperatuur ± 0,1 ℃ ja niiskuse väärtus on üldiselt madal, kuna pärast higistamist on toode saastunud, eriti pooljuhtide töötubades, mis kardavad naatriumi. Seda tüüpi töötuba ei tohiks ületada 25 ℃.
Liigne õhuniiskus põhjustab rohkem probleeme. Kui suhteline õhuniiskus ületab 55%, moodustub jahutava veetoru seinale kondensatsioon. Kui see ilmneb täpsusseadmetes või vooluahelates, võib see põhjustada mitmesuguseid õnnetusi. Kui suhteline õhuniiskus on 50%, on seda lihtne roostetada. Lisaks sellele, kui niiskus on liiga kõrge, siis räni vahvli pinnale kleepuv tolm adsorbeerub pinnale keemiliselt õhus olevate veemolekulide kaudu, mida on keeruline eemaldada.
Mida suurem on suhteline õhuniiskus, seda raskem on adhesiooni eemaldamine. Kui suhteline õhuniiskus on alla 30%, adsorbeeritakse osakesed elektrostaatilise jõu toimimise tõttu hõlpsalt pinnale ja suur hulk pooljuhtide seadmeid on kalduvus lagunemisele. Räni vahvli tootmise optimaalne temperatuurivahemik on 35–45%.
Õhurõhkkontrollpuhtas ruumis
Enamiku puhaste ruumide jaoks on välise saaste sissetungimise vältimiseks vaja säilitada siserõhk (staatiline rõhk) kõrgem kui väline rõhk (staatiline rõhk). Rõhu erinevuse säilitamine peaks üldiselt vastama järgmistele põhimõtetele:
1. Puhtates ruumides peaks rõhk olema kõrgem kui puhaste ruumide puhul.
2. Surve kõrge puhtustasemega ruumides peaks olema kõrgem kui madala puhtustasemega külgnevatel ruumidel.
3. Puhtade ruumide vahelised uksed tuleks avada kõrge puhtuse tasemega ruumide poole.
Rõhu erinevuse säilitamine sõltub värske õhu kogusest, mis peaks olema võimeline kompenseerima õhulekke selle rõhu erinevuse korral. Seega on rõhu erinevuse füüsiline tähendus lekke (või infiltratsiooni) õhuvoolu takistus läbi erinevate lüngade puhta ruumis.
Postiaeg: 21. juuli 20123