Laastu tootvas tööstuses on laastu saagis tihedalt seotud kiibile sadestunud õhuosakeste suuruse ja arvuga. Hea õhuvoolu korraldus võib viia tolmuallikatest tekkivad osakesed puhtast ruumist eemale ja tagada puhta ruumi puhtuse. See tähendab, et õhuvoolu korraldus puhtas ruumis mängib laastu tootmise saagikuses üliolulist rolli. Puhta ruumi õhuvoolu korralduse kavandamisel saavutatavad eesmärgid on: vähendada või kõrvaldada pöörisvoolud vooluväljas, et vältida kahjulike osakeste kinnijäämist; ristsaastumise vältimiseks sobiva positiivse rõhugradienti säilitamiseks.
Puhta ruumi põhimõtte järgi kuuluvad osakestele mõjuvate jõudude hulka massijõud, molekulaarjõud, osakestevaheline tõmbejõud, õhuvoolu jõud jne.
Õhuvoolu jõud: viitab õhuvoolu jõule, mis on põhjustatud sissepuhke- ja tagasivoolu õhuvoolust, termilise konvektsiooni õhuvoolust, kunstlikust segamisest ja muudest osakeste kandmiseks teatud voolukiirusega õhuvooludest. Puhta ruumi keskkonnatehnoloogia juhtimisel on õhuvoolu jõud kõige olulisem tegur.
Katsed on näidanud, et õhuvoolu liikumisel järgivad osakesed õhuvoolu peaaegu täpselt sama kiirusega. Osakeste seisundi õhus määrab õhuvoolu jaotus. Õhuvoolu peamised mõjud siseruumides esinevatele osakestele on järgmised: õhu juurdevoolu õhuvool (sealhulgas esmane õhuvool ja sekundaarne õhuvool), inimeste kõndimisest põhjustatud õhuvool ja termiline konvektsioonõhuvool ning õhuvoolu mõju osakestele, mis on põhjustatud protsessitoimingutest ja tööstusseadmetest. Puhtuse taset mõjutavad erinevad õhuvarustusmeetodid, kiirusliidesed, operaatorid ja tööstusseadmed, indutseeritud nähtused jne puhastes ruumides.
1. Õhuvarustuse meetodi mõju
(1) Õhu juurdevoolu kiirus
Ühtlase õhuvoolu tagamiseks peab õhu juurdevoolu kiirus ühesuunalise voolu puhasruumis olema ühtlane; õhuvarustuspinna surnud tsoon peab olema väike; ja hepa filtri rõhulang peab samuti olema ühtlane.
Õhu juurdevoolu kiirus on ühtlane: see tähendab, et õhuvoolu ebaühtlust kontrollitakse ±20% piires.
Õhuvarustuspinnal on vähem surnud ruumi: mitte ainult ei tohiks vähendada hepa raami tasapinda, vaid veelgi olulisem on, et üleliigse raami lihtsustamiseks tuleks kasutada modulaarset FFU-d.
Selleks, et õhuvool oleks vertikaalne ja ühesuunaline, on väga oluline ka filtri rõhulanguse valik ning nõutakse, et filtrisisese rõhukadu ei saaks kallutatud.
(2) FFU-süsteemi ja aksiaalvooluventilaatorisüsteemi võrdlus
FFU on ventilaatori ja hepa filtriga õhuvarustusseade. Õhu imeb sisse FFU tsentrifugaalventilaator ja see muudab dünaamilise rõhu õhukanalis staatiliseks rõhuks. Selle puhub hepa filter ühtlaselt välja. Õhuvarustuse rõhk laes on alarõhk. Nii ei leki filtri vahetamisel tolm puhtasse ruumi. Katsed on näidanud, et FFU-süsteem on õhu väljalaskeava ühtluse, õhuvoolu paralleelsuse ja ventilatsiooni efektiivsuse indeksi poolest parem kui aksiaalvooluventilaatorisüsteem. Seda seetõttu, et FFU-süsteemi õhuvoolu paralleelsus on parem. FFU-süsteemi kasutamine võib parandada õhuvoolu korraldust puhtas ruumis.
(3) FFU enda struktuuri mõju
FFU koosneb peamiselt ventilaatoritest, filtritest, õhuvoolu juhikutest ja muudest komponentidest. Hepa filter on puhta ruumi kõige olulisem garantii disainiga nõutava puhtuse saavutamiseks. Filtri materjal mõjutab ka vooluvälja ühtlust. Kui filtri väljalaskeavasse lisatakse töötlemata filtermaterjal või vooluplaat, saab väljalaske vooluvälja hõlpsalt ühtlaseks muuta.
2. Kiirusliidese mõju erineva puhtusega
Samas puhtas ruumis, tööpiirkonna ja vertikaalse ühesuunalise vooluga mittetöötava ala vahel, tekib hepa kasti õhukiiruse erinevuse tõttu liideses segatud keeriseefekt ja see liides muutub turbulentseks. õhuvoolu tsoon. Õhu turbulentsi intensiivsus on eriti tugev ning osakesed võivad kanduda seadme pinnale ja saastada seadmeid ja vahvleid.
3. Mõju personalile ja seadmetele
Kui puhas ruum on tühi, vastavad ruumi õhuvoolu omadused üldiselt projekteerimisnõuetele. Kui seadmed jõuavad puhastesse ruumidesse, inimesed liiguvad ja tooteid transporditakse, tekivad õhuvoolu korraldamisel paratamatult takistused, näiteks seadme masinast välja ulatuvad teravad otsad. Nurkades või servades suunatakse gaas ümber, moodustades turbulentse vooluala ning sissetulev gaas ei kanna selles piirkonnas olevat vedelikku kergesti ära, põhjustades seega reostust.
Samal ajal kuumeneb pideva töötamise tõttu mehaaniliste seadmete pind ja temperatuurigradient põhjustab masina lähedal tagasivooluala, mis suurendab osakeste kogunemist tagasivoolualasse. Samal ajal põhjustab kõrge temperatuur osakeste kergesti väljapääsu. Kahekordne efekt tugevdab üldist vertikaalset kihti. Voo puhtuse kontrollimise raskus. Puhas ruumis olevate operaatorite tolm võib kergesti kleepuda nende ümbervoolualade vahvlitele.
4. Tagastusõhu põranda mõju
Kui põrandat läbiva tagasivoolu õhu takistus on erinev, tekib rõhuerinevus, mis põhjustab õhuvoolu väikese takistuse suunas ja ühtlast õhuvoolu ei saavutata. Praegune populaarne disainimeetod on kõrgendatud põranda kasutamine. Kui kõrgendatud põranda avanemissuhe on 10%, saab õhuvoolu kiirust siseruumides töökõrgusel ühtlaselt jaotada. Lisaks tuleks ranget tähelepanu pöörata puhastustöödele, et vähendada saasteallikat põrandal.
5. Induktsiooni nähtus
Niinimetatud induktsiooninähtus viitab nähtusele, kus õhuvool genereeritakse ühtlasele voolule vastupidises suunas, tekitades ruumis tekkiva tolmu või külgnevatel saastunud aladel tolmu vastutuule poole, põhjustades sellega tolmu saastumist vahvliga. Võimalikud indutseeritud nähtused on järgmised:
(1) Pimeplaat
Vertikaalse ühesuunalise vooluga puhtas ruumis on seina vuukide tõttu üldiselt suured ruloopaneelid, mis tekitavad turbulentset voolu ja lokaalset tagasivoolu.
(2) Lambid
Puhas ruumi valgustustel on suurem mõju. Kuna luminofoorlambi kuumus põhjustab õhuvoolu tõusu, ei muutu luminofoorlamp turbulentseks alaks. Üldiselt on puhtas ruumis olevad lambid konstrueeritud pisarakujuliselt, et vähendada lampide mõju õhuvoolu korraldusele.
(3) Seintevahelised vahed
Kui vaheseinte või erinevate puhtusnõuetega lagede vahel on tühimikud, võib madalate puhtusnõuetega piirkondade tolm kanduda külgnevatele kõrgete puhtusnõuetega aladele.
(4) Mehaaniliste seadmete ja põranda või seina vaheline kaugus
Kui vahe mehaaniliste seadmete ja põranda või seina vahel on väike, tekib tagasilöögi turbulents. Seetõttu jätke seadme ja seina vahele tühimik ning tõstke masina platvorm üles, et vältida otsest kontakti maapinnaga.
Postitusaeg: nov-02-2023