Kiibitootlus kiibitootmises on tihedalt seotud kiibil ladestunud õhuosakeste suuruse ja arvuga. Hea õhuvoolu korraldus võib võtta tolmuallikatest tekkivaid osakesi puhtast ruumist ja tagada puhta ruumi puhtuse. See tähendab, et Cleanruumis asuv õhuvoolu organisatsioon mängib olulist rolli kiibi tootmise saagis. Puhta ruumi vooluorganisatsiooni kavandamisel saavutatavad eesmärgid on järgmised: vähendada või kõrvaldada vooluhulgad vooluväljal, et vältida kahjulike osakeste säilitamist; Säilitada sobiv positiivne rõhugradient ristsaastumise vältimiseks.
Puhta ruumi põhimõtte kohaselt hõlmavad osakestele mõjutavad jõud massijõud, molekuljõud, osakeste vaheline külgetõmme, õhuvoolu jõud jne.
Õhuvoolu jõud: viitab õhuvoolu jõududele, mis on põhjustatud õhuvoolu, soojuskonvektsiooni õhuvoolu, kunstliku agitatsiooni ja muudele õhuvooludele, mille osakeste kandmiseks on teatud voolukiirus. Puhta ruumi keskkonnatehnoloogia juhtimiseks on õhuvoolu jõud kõige olulisem tegur.
Katsed on näidanud, et õhuvoolu liikumisel järgivad osakesed õhuvoolu peaaegu täpselt sama kiirusega. Õhus olevate osakeste seisund määratakse õhuvoolu jaotuse abil. Õhuvoolu peamised mõjud siseosakestele on järgmised: õhuvarustuse õhuvool (sealhulgas primaarne õhuvool ja sekundaarne õhuvool), õhuvool ja termilise konvektsiooni õhuvool, mis on põhjustatud kõndivatest inimestest, ning õhuvoolu mõju osakestele, mis on põhjustatud protsessioperatsioonidest ja tööstusseadmetest. Puhtaruumides on erinevad õhuvarustusmeetodid, kiiruseliidesed, operaatorid ja tööstusseadmed, indutseeritud nähtused jne, mis mõjutavad puhtuse taset.
1. õhuvarustuse meetodi mõju
(1) õhuvarustuse kiirus
Ühtse õhuvoolu tagamiseks peab õhuvarustuse kiirus ühesuunalise voolu puhastusruumis olema ühtlane; Õhuvarustuse pinna surnud tsoon peab olema väike; ja ka rõhu langus HEPA filtris peab olema ühtlane.
Õhu pakkumise kiirus on ühtlane: see tähendab, et õhuvoolu ebatasasust kontrollitakse ± 20%piires.
Õhuvarustuse pinnal on vähem surnud ruumi: mitte ainult ei tule HEPA raami tasapinda vähenema, vaid mis veelgi olulisem, vaid ka koondatud raami lihtsustamiseks tuleks modulaarset FFU -d kasutada.
Õhuvoolu vertikaalse ja ühesuunalise tagamiseks on ka filtri rõhu languse valimine väga oluline ja on vaja, et filtri rõhukadu ei saaks kallutada.
(2) FFU süsteemi ja aksiaalse vooluventilaatori süsteemi võrdlus
FFU on ventilaatori ja Hepa filtriga õhuvarustusüksus. Õhku imeb FFU tsentrifugaalventilaator ja teisendab dünaamilise rõhu staatiliseks rõhuks õhukanalis. Selle puhub HEPA filter ühtlaselt. Õhuvarustuse rõhk laes on negatiivne rõhk. Nii ei leki tolm filtri asendamisel puhtasse ruumi. Katsed on näidanud, et FFU -süsteem on õhuväljaande ühtluse, õhuvoolu paralleelsuse ja ventilatsiooni efektiivsuse indeksi osas parem aksiaalse voolu ventilaatori süsteemist. Seda seetõttu, et FFU süsteemi õhuvoolu paralleelsus on parem. FFU süsteemi kasutamine võib parandada õhuvoogude organisatsiooni puhta ruumis.
(3) FFU enda struktuuri mõju
FFU koosneb peamiselt fännidest, filtritest, õhuvoolujuhtidest ja muudest komponentidest. HEPA filter on puhta ruumi kõige olulisem garantii, et saavutada nõutav puhtus. Filtri materjal mõjutab ka vooluvälja ühtlust. Kui filtri väljalaskeava lisatakse kareda filtrimaterjali või vooluplaadi, saab väljalaskeava vooluvälja hõlpsasti ühtlaseks muuta.
2. Erineva puhtusega kiiruseliidese mõju
Samas puhtas ruumis, vertikaalse ühesuunalise vooluga tööala ja mittetöötava piirkonna vahel, HEPA kasti õhukiiruse erinevuse tõttu ilmneb liideses segatud keerisefekt ja see liides muutub turbulentseks Õhuvoolu tsoon. Õhuturbulentsi intensiivsus on eriti tugev ja osakesed võib kanda seadme masina pinnale ning saastada seadmeid ja vahvleid.
3. mõju töötajatele ja seadmetele
Kui puhas tuba on tühi, vastavad ruumis olevad õhuvoolu omadused üldiselt projekteerimisnõuetele. Kui seadmed sisenevad puhastusruumi, liiguvad inimesed ja tooted transporditakse, on õhuvoolu organisatsioonil paratamatult takistusi, näiteks teravad punktid, mis väljaulatuvad seadme masinast. Nurkades või servades suunab gaas turbulentse voolupinna moodustamiseks ja selle piirkonna vedelikku ei saa sissetulev gaas hõlpsalt ära, põhjustades seega reostust.
Samal ajal kuumutatakse mehaaniliste seadmete pinda pideva töö tõttu ja temperatuurigradient põhjustab masina lähedale refraudiala, mis suurendab osakeste kogunemist tagasivoolu piirkonnas. Samal ajal põhjustab kõrge temperatuur hõlpsasti osakeste pääsemine. Kaheefekt intensiivistab üldist vertikaalset kihti. Voo puhtuse kontrollimise raskus. Puhta ruumis operaatorid võivad nendes tagasivoolupiirkondades hõlpsalt vahvleid kinni pidada.
4. Tagasiõhupõranda mõju
Kui põrandat läbiva õhku vastupidavus on erinev, ilmneb rõhu erinevus, põhjustades õhu voolamise väikese takistuse suunas ja ühtlast õhuvoolu ei saada. Praegune populaarne disainimeetod on kasutada kõrgendatud põrandat. Kui kõrgendatud põranda avasuhe on 10%, saab õhuvoolu kiirust siseruumides töö kõrgusel ühtlaselt jaotada. Lisaks tuleks puhastustöödele pöörata ranget tähelepanu põranda saasteallika vähendamiseks.
5. induktsiooni nähtus
Nn induktsiooni nähtus viitab nähtusele, mis tekitab õhuvoolu ühtlase voolu vastupidises suunas, indutseerides tolmu või tolmu tekitatud tolmu külgnevates saastunud aladel ülestuule pooleni, põhjustades sellega tolmu vahvli saastumist. Võimalikud indutseeritud nähtused hõlmavad järgmist:
(1) pime plaat
Vertikaalse ühesuunalise vooluga puhtas ruumis, seina liigeste tõttu on üldiselt suured pimedad paneelid, mis tekitavad turbulentse voolu ja kohaliku tagasivoolu.
(2) lambid
Puhta ruumis olevad valgustusseadmed avaldavad suuremat mõju. Kuna fluorestsentslambi kuumus põhjustab õhuvoolu tõusu, ei muutu fluorestsentslamp turbulentseks alaks. Üldiselt on puhta ruumis olevad lambid konstrueeritud pisarakujulise kujuga, et vähendada lampide mõju õhuvoolu korraldamisele.
(3) lüngad seinte vahel
Kui erineva puhtusevajadusega vaheseinte või lagede vahel on lüngad, saab madala puhtuse nõudetega piirkondadest tolmu üle kanda külgnevatele piirkondadele, millel on kõrge puhtus.
(4) Mehaaniliste seadmete ja põranda või seina vaheline kaugus
Kui mehaaniliste seadmete ja põranda või seina vahe on väike, toimub tagasilöögiturbulents. Seetõttu jätke seadme ja seina vahel vahe ja tõstke masinaplatvormi, et vältida otsest kontakti maapinnaga.
Postiaeg: november-02-2023