Kiibi tootluse määr IC töötleva tööstuse valdkonnas on tihedalt seotud kiibile ladestunud õhuosakeste suuruse ja arvuga. Hea õhuvooluorganisatsioon võib võtta tolmuallika poolt loodud osakesed puhtast ruumist, et tagada puhta ruumi puhtus, see tähendab, et puhta ruumis asuv õhuvoolu organisatsioon mängib olulist rolli IC tootmise saagikuse määras. Õhuvoolu organisatsiooni kavandamine puhta ruumis peab saavutama järgmised eesmärgid: kahjulike osakeste säilitamise vältimiseks vooluvälja pöörisvoolu vähendada või kõrvaldada; Säilitage ristsaastumise vältimiseks sobiv positiivne rõhugradient.
Õhuvoolu jõud
Puhta ruumi põhimõtte kohaselt hõlmavad osakestele mõjutavad jõud massijõud, molekuljõud, osakeste vaheline külgetõmme, õhuvoolu jõud jne.
Õhuvoolu jõud: viitab õhuvoolu jõududele, mis on põhjustatud õhuvoolu tagastamise, soojuskonvektsiooni õhuvoolu, kunstliku segamise ja muude osakeste kandmiseks teatud voolukiirusega õhuvoolu. Puhta ruumi keskkonna tehnilise juhtimise jaoks on kõige olulisem tegur Airflow jõud.
Katsed on näidanud, et õhuvoolu liikumisel järgivad osakesed õhuvoolu liikumist peaaegu samal kiirusel. Õhus olevate osakeste olek määratakse õhuvoolu jaotuse abil. Õhuvoor, mis mõjutavad siseosakesi, hõlmavad peamiselt: õhuvarustuse õhuvool (sealhulgas primaarne õhuvool ja sekundaarne õhuvool), õhuvoolu ja termilise konvektsiooni õhuvool, mis on põhjustatud kõndivatest inimestest, ning protsesside tööst ja tööstusseadmetest põhjustatud õhuvool. Puhtates ruumides on erinevad õhuvarustusmeetodid, kiiruseliidesed, operaatorid ja tööstusseadmed ning indutseeritud nähtused kõik puhtuse taset mõjutavad tegurid.
Õhuvoolu organisatsiooni mõjutavad tegurid
1. õhuvarustuse meetodi mõju
(1). Õhuvarustuse kiirus
Ühtse õhuvoolu tagamiseks peab õhuvarustuse kiirus olema ühtlane ühesuunalises puhta ruumis; Õhuvarustuse pinna surnud tsoon peab olema väike; ja ka ULPA rõhu langus peab olema ühtlane.
Ühtne õhuvarustuse kiirus: see tähendab, et õhuvoolu ebaühtlust kontrollitakse ± 20%piires.
Õhuvarustuse pinnal vähem surnud tsoon: mitte ainult ei tuleks ULPA raami tasapinna pindala vähendada, vaid mis veelgi olulisem - koondatud raami lihtsustamiseks tuleks kasutusele võtta modulaarne FFU.
Vertikaalse ühesuunalise õhuvoolu tagamiseks on ka filtri rõhu languse valik väga oluline, nõudes, et filtri rõhukaotus ei saaks kalduda.
(2). FFU süsteemi ja aksiaalse vooluventilaatori süsteemi võrdlus
FFU on ventilaatori ja filtriga õhuvarustusüksus (ULPA). Pärast seda, kui õhk imeb FFU tsentrifugaalventilaator, muundatakse dünaamiline rõhk õhukanalis staatiliseks rõhuks ja puhub ULPA ühtlaselt. Õhuvarustuse rõhk laes on negatiivne rõhk, nii et filtri vahetamisel puhastesse ruumi ei leki. Katsed on näidanud, et FFU -süsteem on õhuväljalaskeava ühtluse, õhuvoolu paralleelsuse ja ventilatsiooni efektiivsuse indeksi osas parem aksiaalse voolu ventilaatori süsteemist. Selle põhjuseks on asjaolu, et FFU süsteemi õhuvoolu paralleelsus on parem. FFU süsteemi kasutamine võib muuta õhuvoolu puhta ruumis paremini korraldatavaks.
(3). FFU enda struktuuri mõju
FFU koosneb peamiselt fännidest, filtritest, õhuvoolu juhendiseadmetest ja muudest komponentidest. Ülimalt kõrge efektiivsusega filter ULPA on kõige olulisem garantii, kas puhas tuba suudab saavutada disaini vajaliku puhtuse. Filtri materjal mõjutab ka vooluvälja ühtlust. Kui filtri väljalaskeava lisatakse jäme filtermaterjal või laminaarse vooluplaat, saab väljalaskevoolu hõlpsasti ühtlaseks muuta.
2. Puhtuse erinevate kiiruseliideste mõju
Samas puhtas ruumis, vertikaalse ühesuunalise voolu tööala ja mittetöötava piirkonna vahel, põhjustades õhukiiruse erinevust ULPA väljalaskeavas, saadakse liideses segatud keerisefekt ja see liides muutub turbulentseks Õhuvoolu tsoon, eriti kõrge õhuturbulentsi intensiivsusega. Osakesi võib seadme pinnale edastada ja saastada seadmeid ja vahvleid.
3. töötajate ja seadmete mõju
Kui puhas tuba on tühi, vastavad ruumis olevad õhuvoolu omadused üldiselt projekteerimisnõuetele. Kui seadmed sisenevad puhtasse ruumi, personali liiguvad ja tooted edastatakse, on õhuvoolu organisatsioonil paratamatult takistused. Näiteks seade väljaulatuvates nurkades või servades suunatakse gaas turbulentse tsooni moodustamiseks ja tsooni vedelikku gaas ei vii kergesti ära, põhjustades seega reostust. Samal ajal kuumeneb seadme pind pideva töö tõttu ja temperatuurigradient põhjustab masina lähedal reflowsooni, mis suurendab osakeste kogunemist reflowsoonis. Samal ajal põhjustab kõrge temperatuur hõlpsasti osakeste pääsemine. Kaheefekt süvendab üldise vertikaalse laminaarse puhtuse kontrollimise raskusi. Puhta ruumi operaatorite tolmu on nendes tagasivoolutsoonides vahvleid väga lihtne kinni pidada.
4. Tagasiõhupõranda mõju
Kui põrandat läbinud tagasisaatmiskindlus on erinev, tekivad rõhu erinevus, nii et õhk voolab väiksema takistuse suunas ja ühtlast õhuvoolu ei saada. Praegune populaarne disainimeetod on kasutada kõrgendatud põrandaid. Kui kõrgendatud põrandate avakiirus on 10%, saab õhuvoolu kiirust ruumi töökõrguses ühtlaselt jaotada. Lisaks tuleks puhastustööle pöörata ranget tähelepanu põranda saasteallika vähendamiseks.
5. induktsiooni nähtus
Nn induktsiooni nähtus viitab nähtusele, et genereeritakse ühtlase voolu vastupidises suunas õhuvool ja tolmu tekitatud tolm või külgnevas saastunud alal olev tolm indutseeritakse ülestuule küljele, nii et tolm tolmule võib kiipi saastada. Järgmised on võimalikud induktsiooni nähtused:
(1). Pime plaat
Vertikaalse ühesuunalise vooluga puhtas ruumis on seinal olevate vuukide tõttu üldiselt suured pimedad taldrikud, mis tekitavad kohalikus tagasivaates turbulentsi.
(2). Lambid
Puhta ruumis olevatel valgustusseadmetel on suurem mõju. Kuna fluorestsentslampide kuumus põhjustab õhuvoolu tõusu, ei ole fluorestsentslampide all turbulentset ala. Üldiselt on puhta ruumis olevad lambid konstrueeritud pisarakujuliseks, et vähendada lampide mõju õhuvoolu organisatsioonile.
(3.) Lüngad seinte vahel
Kui erineva puhtustasemega vaheseinte vahel või vaheseinte ja lagede vahel on lüngad, saab madala puhtuse nõudega piirkonnast pärit tolmu üle kanda külgnevasse piirkonda, kus on kõrge puhtus.
(4). Masina ja põranda või seina vaheline kaugus
Kui masina ja põranda või seina vahe on väga väike, põhjustab see tagasilöögi turbulentsi. Seetõttu jätke seadme ja seina vahel tühimik ja tõstke masinat üles, et mitte lasta masinal otse maapinnale puudutada.
Postiaeg: veebruar-05-2025