KÕRGE PUHTUSEGA LAASTPUHASTRUUMI ÜLDISED OMADUSED

1. Disainiomadused

Kiibitoodete funktsionaliseerimise, miniaturiseerimise, integreerimise ja täpsuse nõuete tõttu erinevad kiibipuhasruumi projekteerimisnõuded tootmiseks ja tootmiseks oluliselt üldiste tehaste nõuetest.

(1) Puhtusnõuded: Kiibi tootmiskeskkonnas on õhuosakeste arvu suhtes kõrged kontrollinõuded;

(2) Õhutiheduse nõuded: vähendada konstruktsioonilisi lünki ja tugevdada pilukonstruktsioonide õhutihedust, et minimeerida õhulekke või reostuse mõju;

(3) Tehase süsteemi nõuded: Spetsiaalsed jõu- ja elektromehaanilised süsteemid vastavad protsessimasinate vajadustele, näiteks spetsiaalsete gaaside, kemikaalide, puhta reovee jms jaoks;

(4) Mikrovibratsioonivastased nõuded: kiibi töötlemine nõuab suurt täpsust ja vibratsiooni mõju seadmetele tuleb vähendada;

(5) Ruumivajadus: Tehase põrandaplaan on lihtne, selgete funktsionaalsete jaotuste, peidetud torustike ja mõistliku ruumijaotusega, mis võimaldab paindlikkust tootmisprotsesside ja seadmete ajakohastamisel.

2. Ehitusfookus

(1). Kitsam ehitusperiood. Moore'i seaduse kohaselt kahekordistub kiibi integreerimise tihedus keskmiselt iga 18–24 kuu järel. Elektroonikatoodete ajakohastamise ja iteratsiooniga ajakohastatakse ka tootmisüksuste nõudlust. Elektroonikatoodete kiire ajakohastamise tõttu on elektrooniliste puhastusjaamade tegelik kasutusiga vaid 10–15 aastat.

(2). Kõrgemad ressursikorralduse nõuded. Elektroonilise puhasruumi ehitusmaht on üldiselt suur, ehitusperiood lühike, protsessid tihedalt seotud, ressursside käive keeruline ja põhimaterjalide tarbimine kontsentreeritum. Selline tihe ressursikorraldus avaldab üldistele plaanidele suurt survet ja kõrgeid ressursikorralduse nõudeid. Vundamendi ja põhietapis kajastub see peamiselt tööjõus, terasvarrastes, betoonis, raamimaterjalides, tõsteseadmetes jne; elektromehaanilises, siseviimistlus- ja seadmete paigaldamise etapis kajastub see peamiselt ehitusplatsi nõuetes, erinevates torudes ja ehitusmasinate abimaterjalides, spetsiaalsetes seadmetes jne.

(3). Kõrged ehituskvaliteedi nõuded kajastuvad peamiselt kolmes aspektis: tasapind, õhutihedus ja vähene tolmu tekitamine. Lisaks täppisseadmete kaitsmisele keskkonnakahjustuste, väliste vibratsioonide ja keskkonnaresonantsi eest on sama oluline ka seadme enda stabiilsus. Seetõttu on põranda tasapinna nõue 2 mm/2 m. Õhutiheduse tagamine mängib olulist rolli rõhuerinevuste säilitamisel erinevate puhaste alade vahel ja seega saasteallikate kontrollimisel. Enne õhu filtreerimis- ja kliimaseadmete paigaldamist tuleb rangelt kontrollida puhasruumi puhastamist ning ehituse ettevalmistamise ja ehituse järel tuleb kontrollida tolmulekkeid.

(4) Kõrged nõuded allhankelepingute haldamisele ja koordineerimisele. Elektroonilise puhasruumi ehitusprotsess on keerukas, väga spetsiifiline, hõlmab paljusid spetsiaalseid alltöövõtjaid ja sellel on lai valik ristkoostööd eri valdkondade vahel. Seetõttu on vaja koordineerida iga valdkonna protsesse ja tööpindu, vähendada ristkoostööd, mõista valdkondadevahelise liideste üleandmise tegelikke vajadusi ning teha head tööd peatöövõtja koordineerimisel ja juhtimisel.