1. Puhasruumis tuleks toote tootmisprotsessi nõuete ja kemikaali füüsikaliste ja keemiliste omaduste põhjal luua erinevat tüüpi kemikaalide ladustamis- ja jaotusruumid. Vajalike kemikaalide tarnimiseks tootmisseadmetele tuleks kasutada torustikke. Puhasruumi kemikaalide ladustamis- ja jaotusruumid asuvad tavaliselt abitootmisalal, tavaliselt ühe- või mitmekorruselise hoone esimesel korrusel välisseina lähedal. Kemikaale tuleks ladustada eraldi vastavalt nende füüsikalistele ja keemilistele omadustele. Kokkusobimatud kemikaalid tuleks paigutada eraldi kemikaalide ladustamis- ja jaotusruumidesse, mis on eraldatud tahkete vaheseintega. Ohtlikke kemikaale tuleks ladustada eraldi ladustamis- või jaotusruumides, mille tulepüsivusklass külgnevate ruumide vahel on vähemalt 2,0 tundi. Need ruumid peaksid asuma tootmishoone esimesel korrusel asuvas ruumis välisseina lähedal.
2. Elektroonikatööstuse puhasruumides on sageli hapete ja leeliste, aga ka tuleohtlike lahustite hoiu- ja jaotusruumid. Happete hoiu- ja jaotusruumides asuvad tavaliselt väävelhappe, fosforhappe, vesinikfluoriidhappe ja vesinikkloriidhappe hoiu- ja jaotussüsteemid. Leeliste hoiu- ja jaotusruumides asuvad tavaliselt naatriumhüdroksiidi, hüdroksiidikoogi, ammooniumhüdroksiidi ja tetrametüülammooniumhüdroksiidi hoiu- ja jaotussüsteemid. Tuleohtlike lahustite hoiu- ja jaotusruumides asuvad tavaliselt orgaaniliste lahustite, näiteks isopropüülalkoholi (IPA), hoiu- ja jaotussüsteemid. Integraallülituste kiipide tootmistehastes on puhasruumides ka poleerimissuspensiooni hoiu- ja jaotusruumid. Kemikaalide hoiu- ja jaotusruumid asuvad tavaliselt abitootmis- või tugialadel puhaste tootmisalade lähedal või kõrval, tavaliselt esimesel korrusel, kust on otsene juurdepääs õue.
3. Kemikaalide ladustamis- ja jaotusruumid on varustatud erineva mahutavusega säilitusvaatide või -paakidega, mis põhinevad toote tootmiseks vajalike kemikaalide tüübil, kogusel ja kasutusomadustel. Standardite ja eeskirjade kohaselt tuleks kemikaale ladustada eraldi ja klassifitseerida. Kasutatavate tünnide või paakide mahutavus peaks olema piisav kemikaalide seitsmepäevaseks tarbimiseks. Samuti peaksid olema olemas päevased tünnid või paagid, mille mahutavus on piisav, et katta toote tootmiseks vajalike kemikaalide 24-tunnine tarbimine. Tuleohtlike lahustite ja oksüdeerivate kemikaalide ladustamis- ja jaotusruumid peaksid olema eraldi ja eraldatud külgnevatest ruumidest tahkete tulekindlate seintega, mille tulepüsivusklass on 3,0 tundi. Kui need asuvad mitmekorruselise hoone esimesel korrusel, peaksid need olema teistest aladest eraldatud mittesüttivate põrandatega, mille tulepüsivusklass on vähemalt 1,5 tundi. Puhasruumis asuv kemikaaliohutuse ja seiresüsteemi tsentraliseeritud juhtimisruum peaks asuma eraldi ruumis.
4. Puhasruumis asuvate kemikaalide ladustamis- ja jaotusruumide kõrgus tuleks määrata seadmete ja torustiku paigutuse nõuete alusel ning see ei tohiks üldiselt olla väiksem kui 4,5 meetrit. Kui kemikaalide ladustamis- ja jaotusruum asub puhasruumi abitootmisalal, peaks selle kõrgus olema kooskõlas hoone kõrgusega.
Postituse aeg: 01.08.2025