Tulekaitsevahendid on puhasruumi oluline osa. Selle olulisus ei tulene mitte ainult protsessiseadmete ja ehitusprojektide kallidusest, vaid ka sellest, et puhasruumid on suhteliselt suletud hooned ja mõned on isegi aknata töökojad. Puhasruumi läbipääsud on kitsad ja looklevad, mistõttu on personali evakueerimine ja tulekahjude tekitamine keeruline. Inimeste elu ja vara ohutuse tagamiseks tuleks projekteerimisel rakendada tulekaitsepoliitikat "ennetamine kõigepealt, ennetamise ja tulekahju kombineerimine". Lisaks tõhusate tuleohutusmeetmete rakendamisele puhasruumi projekteerimisel on olemas ka vajalikud tulekustutusvahendid. Puhasruumide tootmisomadused on järgmised:
(1) Saadaval on palju täppisseadmeid ja -instrumente ning kasutatakse mitmesuguseid tuleohtlikke, plahvatusohtlikke, söövitavaid ja mürgiseid gaase ja vedelikke. Mõnede tootmisdetailide tuleoht kuulub C-kategooriasse (nt oksüdatsioonidifusioon, fotolitograafia, ioonide implanteerimine, trükkimine ja pakendamine jne) ja mõned A-kategooriasse (nt monokristalli tõmbamine, epitaksia, keemiline aurustamine jne).
(2) Puhasruum on väga õhutihe. Tulekahju puhkemisel on personali evakueerimine ja tulekahju kustutamine keeruline.
(3) Puhasruumi ehituskulud on kõrged ning seadmed ja instrumendid on kallid. Tulekahju puhkemisel on majanduslikud kahjud tohutud.
Eeltoodud omaduste põhjal on puhasruumidel väga kõrged tulekaitsenõuded. Lisaks tulekaitse- ja veevarustussüsteemile tuleks paigaldada ka statsionaarsed tulekustutusseadmed, eriti hoolikalt tuleb kindlaks määrata puhasruumis olevad väärtuslikud seadmed ja instrumendid.
Postituse aeg: 11. aprill 2024