Tulekaitsevahendid on puhta ruumi oluline osa. Selle tähtsus ei seisne mitte ainult selles, et selle protsessiseadmed ja ehitusprojektid on kallid, vaid ka selles, et puhasruumid on suhteliselt suletud hooned ja mõned on isegi akendeta töökojad. Puhta ruumi käigud on kitsad ja käänulised, mistõttu on raske personali evakueerida ja tulekahju õpetada. Inimeste elu ja vara ohutuse tagamiseks tuleks projekteerimisel rakendada tulekaitsepoliitikat "ennetus enne, ühendades ennetuse ja tulekahju". Lisaks tõhusate tuletõrjemeetmete kasutuselevõtule puhasruumi projekteerimisel, rajatakse ka vajalikud tulekustutusvahendid. Puhaste ruumide tootmisomadused on järgmised:
(1) Seal on palju täppisseadmeid ja -instrumente ning kasutatakse mitmesuguseid tule-, plahvatusohtlikke, söövitavaid ja mürgiseid gaase ja vedelikke. Mõnede tootmisosade tuleoht kuulub C-kategooriasse (nagu oksüdatsiooni difusioon, fotolitograafia, ioonide implanteerimine, trükkimine ja pakendamine jne), osa aga A-kategooriasse (nt monokristalli tõmbamine, epitakseerimine, keemiline aurustamine-sadestamine jne) .).
(2) Puhasruum on väga õhutihe. Kui tulekahju puhkeb, on personali evakueerimine ja tulekahju kustutamine keeruline.
(3) Puhta ruumi ehitusmaksumus on kõrge ning seadmed ja instrumendid kallid. Kui tulekahju puhkeb, on majanduslik kahju tohutu.
Ülaltoodud omaduste põhjal on puhastel ruumidel tulekaitsele väga kõrged nõuded. Lisaks tulekaitse- ja veevarustussüsteemile tuleks paigaldada ka statsionaarsed tulekustutusseadmed, eriti puhtas ruumis olevad väärtuslikud seadmed ja instrumendid tuleb hoolikalt kindlaks määrata.
Postitusaeg: 11. aprill 2024