Lisaks osakeste rangele kontrollile, elektroonilisel puhtal ruumil, mida esindavad kiibi tootmise töötoad, integreeritud vooluahela tolmuvabad töötubad ja kettatootmise töötubad, on samuti rangemad nõuded temperatuuri ja niiskuse juhtimise, valgustuse ja mikrošoki jaoks. Eemaldage rangelt staatilise elektri mõju tootmistoodetele, et keskkond saaks täita elektrooniliste toodete tootmisprotsessi nõudeid puhta keskkonnas.
Elektroonilise puhta ruumi temperatuur ja niiskus tuleks kindlaks määrata vastavalt tootmisprotsessi nõuetele. Kui tootmisprotsessis puuduvad konkreetsed nõuded, võib temperatuur olla 20–26 ° C ja suhteline õhuniiskus 30–70%. Personali puhastusruumi ja elutoa temperatuur võib olla 16–28 ℃. Hiina riikliku standardi GB-50073 andmetel, mis on kooskõlas rahvusvaheliste ISO standarditega, on seda tüüpi puhta ruumi puhtuse tase 1-9. Nende hulgas, klassi 1-5, on õhuvoolu muster ühesuunaline vool või segavool; 6. klassi õhuvoolu muster on ühesuunaline vool ja õhu muutus on 50–60 korda/h; 7. klassi õhuvoolu tüüp on mittesuunaline vool ja õhu muutus on 15-25 korda/h; Klass 8-9 õhuvoolu tüüp on mitteühenduslik vool, õhu muutus on 10-15 korda/h.
Praeguste spetsifikatsioonide kohaselt ei tohiks 10 000 elektroonilise puhta ruumi müratase olla suurem kui 65dB (a).
1. vertikaalse voolu puhta ruumi täielik suhe elektroonilises puhta ruumis ei tohiks olla väiksem kui 60%ja horisontaalne ühesuunalise vooluga puhas ruum ei tohiks olla väiksem kui 40%, vastasel juhul on see osaline ühesuunaline vool.
2. Staatiline rõhu erinevus elektroonilise puhta ruumi ja õues ei tohiks olla väiksem kui 10Pa ning staatiline rõhu erinevus puhaste piirkondade ja erineva õhupuhusega mittepuhutavate alade vahel ei tohiks olla väiksem kui 5Pa.
3. Värske õhu kogus klassi 10000 elektroonilises puhta ruumis peaks võtma järgmise kahe eseme väärtuse.
4. kompenseerige siseruumides asuva siseruumides asuva siseruumides asuva siseruumides asuva siseruumides asuva siseruumides oleva siseruumides positiivse rõhu väärtuse summa.
5. Veenduge, et puhtale ruumile sisestatud kogus inimese kohta tunnis oleks vähemalt 40 ruutmeetrit.
Postiaeg: APR-08-2024