Lisaks tahkete osakeste rangele kontrollile on elektroonikapuhasruumis, mida esindavad kiibi tootmise töökojad, integraallülituste tolmuvabad töökojad ja ketaste valmistamise töökojad, rangemad nõuded ka temperatuuri ja niiskuse kontrolli, valgustuse ja mikrošoki osas. Eemaldage rangelt staatilise elektri mõju tootmistoodetele, et keskkond vastaks elektroonikatoodete tootmisprotsessi nõuetele puhtas keskkonnas.
Elektroonilise puhta ruumi temperatuur ja niiskus tuleks määrata vastavalt tootmisprotsessi nõuetele. Kui tootmisprotsessile spetsiifilisi nõudeid ei ole, võib temperatuur olla 20–26°C ja suhteline õhuniiskus 30–70%. Personali puhasruumi ja elutoa temperatuur võib olla 16-28 ℃. Vastavalt Hiina riiklikule standardile GB-50073, mis on kooskõlas rahvusvaheliste ISO standarditega, on seda tüüpi puhaste ruumide puhtuse tase 1-9. Nende hulgas, klassides 1-5, on õhuvoolu muster ühesuunaline või segavool; klassi 6 õhuvoolumuster on mitteühesuunaline ja õhuvahetus on 50-60 korda/h; klassi 7 õhuvoolutüüp on mitteühesuunaline ja õhuvahetus on 15-25 korda tunnis; klassi 8-9 õhuvoolutüüp on mitteühesuunaline, õhuvahetus on 10-15 korda/h.
Praeguste spetsifikatsioonide kohaselt ei tohiks müratase klassi 10 000 elektroonilises puhasruumis olla suurem kui 65 dB(A).
1. Vertikaalse voolu puhasruumi täissuhe elektroonilises puhasruumis ei tohiks olla väiksem kui 60% ja horisontaalse ühesuunalise voolu puhasruum ei tohiks olla väiksem kui 40%, vastasel juhul on tegemist osalise ühesuunalise vooluga.
2. Staatilise rõhu erinevus elektroonilise puhta ruumi ja välistingimustes ei tohiks olla väiksem kui 10 Pa ning staatilise rõhu erinevus puhaste alade ja erineva õhupuhtusega mittepuhaste alade vahel ei tohiks olla väiksem kui 5 Pa.
3. Värske õhu kogus klassi 10000 elektroonilises puhasruumis peaks vastama kahele järgmisele elemendile.
4. Kompenseerige siseruumides väljatõmbeõhu ja värske õhu koguse summa, mis on vajalik siseruumide positiivse rõhu väärtuse säilitamiseks.
5. Veenduge, et puhtasse ruumi juhitava värske õhu kogus inimese kohta tunnis ei oleks väiksem kui 40 ruutmeetrit.
Postitusaeg: aprill-08-2024