Elektroonilise puhta ruumi disaini nõuded

Lisaks osakeste rangele kontrollile on elektroonikapuhastusruumides, mida esindavad kiibitootmistöökojad, integraallülituste tolmuvabad töökojad ja kettatootmistöökojad, ka rangemad nõuded temperatuuri ja niiskuse kontrolli, valgustuse ja mikrošoki osas. Staatilise elektri mõju tootmistoodetele tuleb rangelt kõrvaldada, et keskkond vastaks elektroonikatoodete tootmisprotsessi nõuetele puhtas keskkonnas.

Elektroonikaseadmete puhasruumi temperatuur ja niiskus tuleks määrata vastavalt tootmisprotsessi nõuetele. Kui tootmisprotsessile ei ole erinõudeid, võib temperatuur olla 20–26 °C ja suhteline õhuniiskus 30–70%. Personali puhasruumi ja elutoa temperatuur võib olla 16–28 ℃. Hiina riikliku standardi GB-50073 kohaselt, mis on kooskõlas rahvusvaheliste ISO standarditega, on seda tüüpi puhasruumi puhtustase 1–9. Nende hulgas on klassid 1–5, mille õhuvoolu muster on ühesuunaline või segavooluga; klassi 6 õhuvoolu muster on mitte-ühesuunaline ja õhuvahetus on 50–60 korda/h; klassi 7 õhuvoolu tüüp on mitte-ühesuunaline ja õhuvahetus on 15–25 korda/h; klassi 8–9 õhuvoolu tüüp on mitte-ühesuunaline ja õhuvahetus on 10–15 korda/h.

Kehtivate spetsifikatsioonide kohaselt ei tohiks müratase 10 000 klassi elektroonikaseadmete puhasruumis olla suurem kui 65 dB(A).

1. Elektroonilises puhasruumis ei tohiks vertikaalse vooluhulga täissuhe olla väiksem kui 60% ja horisontaalse ühesuunalise vooluhulga täissuhe ei tohiks olla väiksem kui 40%, vastasel juhul on tegemist osalise ühesuunalise vooluga.

2. Elektroonilise puhta ruumi ja välisõhu vaheline staatiline rõhuerinevus ei tohiks olla väiksem kui 10 Pa ning erineva õhupuhtusega puhaste ja mittepuhaste alade vaheline staatiline rõhuerinevus ei tohiks olla väiksem kui 5 Pa.

3. 10000 klassi elektroonikapuhasruumis oleva värske õhu hulk peaks olema järgmise kahe elemendi väärtus.

4. Kompenseerige siseruumides väljatõmmatava õhu mahu ja värske õhu mahu summa, mis on vajalik siseruumides positiivse rõhu väärtuse säilitamiseks.

5. Veenduge, et puhasruumi tarnitava värske õhu hulk inimese kohta tunnis ei oleks väiksem kui 40 ruutmeetrit.